1.多功能真空加熱爐,一體爐膛設計、可實現(xiàn)、高溫、真空、氣氛環(huán)境下進行測試;
2.采用鉑材料作為導線、以減少信號衰減、提高測試精度;
3.可以測量半導體薄膜材、薄片材料的方塊電阻、電阻率;
4.可實現(xiàn)常溫、變溫、恒溫條件的1-V、R-T、R-t等測量功能;
5.溫度傳感器、PID自動溫度控制,使測量溫度更精zhun;
6.儀器可自動計算試樣的電阻率pV;
7.10寸觸摸屏設計,一體化設計機械結構,更加穩(wěn)定、可靠;
8.程控電子升壓技術,紋波更低、TVS防護系統(tǒng),保證儀器安全性;
9.99氧化鋁陶瓷絕緣、碳化鎢探針;
10.huace pro控制分析軟件;
11.整體為桌面型設計,采用紅外燈加熱,無保溫爐膛結構,滿足實驗室無灰塵排放的要求;
12.內置工控機、觸摸屏,可以利用工控機設定加熱曲線,并實現(xiàn)和其他測試設備的集成控制;
13.定點控溫模式下,可以將樣品10s內加熱到1000攝氏度;
控溫加熱下,可以5度/s速率下線性加熱到1000攝氏度;
14.在1000度下可以連續(xù)工作時間不低于1小時;
15.采用鉑熱電偶直接測定樣品附近溫度;
16.樣品可以工作在大氣、真空、氣氛環(huán)境下加熱;
17.配備真空泵,水冷設備,配備超溫、缺水、過流等報警保護裝置;
18.溫度均勻區(qū):60mm*100mm。